进口供气面板

德国赫莱曼Herlmann进口气体控制面板作为气体控制的关键组件，分为高压面板和低压面板，各自承担着不同的功能，下面我们将详细介绍它们的构成及适用气体类型。

高压面板构成与应用

高压面板设计用于处理和调节高压气体，确保安全、精确地分配到生产流程中。其主要组件包括：

1. 高压阀门：

包括进气阀、出气阀以及安全阀。进气阀控制气体的输入，出气阀控制气体的输出，而安全阀则在压力超过预设值时自动开启，释放过压气体，确保系统安全。

2. 减压装置：

用于将高压气体减压至下游设备或管道可以承受的工作压力，是高压气体系统中不可或缺的部件。

3. 压力表和传感器：

实时监测气体压力，压力表提供直观的读数，而压力传感器则可将压力数据传输给控制系统，实现远程监控和报警。

4. 流量控制：

流量计确保气体按需供给。用来测量气体流量，确保气体以正确的速率供给下游设备，有助于控制工艺过程和成本管理

5. 过滤净化：

去除杂质，保证气体纯净。

6. 电磁控制阀：

实现自动化控制，通过电信号控制气体流动的开启与关闭。

7. 安全联锁系统：

紧急切断，防止事故。

高压面板常用于处理如硅烷、氨气、氟化氢等高反应性或高压气体，这些气体在半导体芯片制造的蚀刻、沉积等工艺中至关重要。